島津能量色散X射線分析采用脈沖高度分析器將不同能量的脈沖分開并測量。能量色散X射線熒光光譜儀可分為具有高分辨率的光譜儀，分辨率較低的便攜式光譜儀，和介于兩者之間的臺式光譜儀。

 

　　島津能量色散X射線分析是x射線能譜分析的一種儀器。在電子與物質(zhì)相互作用時，采用能聚焦的入射電子可以激發(fā)初級x射線，不同元素發(fā)射出來的特征x射線波長不同，能量也不同。利用x射線能量不同而展譜一般稱為x射線能譜分析或能量色散x射線分析，所用設(shè)備通常稱為能量色散譜儀。

 

　　主要單元是半導(dǎo)體探測器及多道脈沖高度分析器，用以將特征x射線按能量展i｝｝Er7，5的分辨率遠不如波長色散譜儀，它有分析速度快的優(yōu)點，和通用的x射線波長色散譜儀相比可提高10倍，如果進行物相鑒定，只需幾分鐘就可以得到被測物質(zhì)的全部衍射花樣。

 

　　X射線熒光光譜儀具有重現(xiàn)性好，測量速度快，靈敏度高的特點。能分析B（5）～U（92）之間所有元素。X射線熒光光譜是一種常用的光譜技術(shù)，既可用于材料的組成成分分析，又可用于涂層和多層薄膜厚度的測量等。無標半定量方法可以對各種形狀樣品定性分析，并能給出半定量結(jié)果，結(jié)果準確度對某些樣品可以接近定量水平，分析時間短。

 

　　而非色散譜儀不是采用將不同能量的譜線分辨開來，而是通過選擇激發(fā)、選擇濾波和選擇探測等方法使測量分析線而排除其他能量譜線的干擾，因此一般只適用于測量一些簡單和組成基本固定的樣品。